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CMP 廢水回用是什麼?半導體廠降低廢液成本的關鍵技術
你或許聽過,半導體晶圓廠是「吃水怪獸」一座先進製程廠每天動輒消耗數萬噸水。其中,有一道製程的用水量特別驚人,就是化學機械研磨(CMP)。研究指出,CMP 用水量約佔晶圓廠製程用水的 5%~30%,未來甚至可能上看四成。換句話說,只要能把 CMP 廢水「回收再利用」,廠商就能同時省下水費、降低廢水處理成本,也兼顧 ESG 與淨零目標。小編將用最白話的方式,帶你看懂 CMP 廢水回用到底是怎麼一回事。

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